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RTP快速退火爐的特點(diǎn)與技術(shù)指標(biāo)

日期:2025-07-04 07:04
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摘要:
      RTP快速退火爐可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時(shí)間穩(wěn)定等特點(diǎn)。也可用于各種半導(dǎo)體材料的CVD工藝的熱處理。

RTP快速退火爐主要技術(shù)指標(biāo)
  l、外形尺寸:550×650×650mm(長×寬×高)
  2、爐內(nèi)體尺寸:327×249×123mm(長×寬×高)
   3、工作室采用進(jìn)口GE石英,外徑尺寸:290×230×24mm(長×寬×高);表面進(jìn)行磨砂處理
  4、不銹鋼反應(yīng)室上下反射面聚焦設(shè)計(jì),內(nèi)表面采用鍍金處理,減小熱損失,極大提高了反射效率
  5、水冷卻,確保燈箱散熱與快速降溫
  6、風(fēng)扇冷卻保證加熱燈的冷卻
  7、*大溫度范圍150℃—1000℃,K型熱電偶
  8、升溫速率:0.01—100℃/s可預(yù)設(shè)定
  9、氣體:兩路美國進(jìn)口浮子流量計(jì)控制,流量:0—5L/min
  10、采用歐陸2604高精度溫控儀控制溫度
  11、可編程多條溫度曲線
  l2、雙閉環(huán)控制溫度,穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±1℃
  l3、光源:1200W×21只鹵鎢燈
  l4、電源:AC380V;63A三相
  l5、有效加熱區(qū):180×180mm
  l6、石英承片架Ф160mm;配6英寸硅片承片板

尊敬的客戶:    
      您好,我司是一支技術(shù)力量雄厚的開發(fā)群體,為廣大用戶提供完整的解決方案和技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品有氧化鋯燒結(jié)爐、石墨烯制備設(shè)備、等離子清洗機(jī)等。本企業(yè)堅(jiān)持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進(jìn)取興業(yè)的宗旨,以更堅(jiān)定的步伐不斷攀登新的高峰,為民族自動化行業(yè)作出貢獻(xiàn),歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)!


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