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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EVH600R-II-HH-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等
詳情介紹:

    本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-4Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途:

卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-EVH600R-II-HH-SS

供電電壓

單相,AC220V, 50Hz

真空腔體

內(nèi)壁處理

電解拋光

腔體材料

304不銹鋼

腔體尺寸

臥式Φ600mm×500mm

觀察窗口

前置φ100mm含遮光片

開啟方式

前開門式

卷繞系統(tǒng)

收放卷

Φ200mmx300mm

速度

60m/min(可調(diào))

張緊

可調(diào)

蒸發(fā)源和電源

部件數(shù)量

1套金屬蒸發(fā)源,帶獨(dú)立擋板

電極電壓

10V

送絲速度

3m/min

蒸發(fā)電流

功率2KW*大電流為160A,調(diào)節(jié)精度為1A

蒸發(fā)器

鎢舟,1個(gè)

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

雙極旋片泵,抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速:600L/s

額定轉(zhuǎn)速:24000rpm;

啟動(dòng)時(shí)間:≦4.5min

冷卻方式:水冷+空冷

進(jìn)氣接口:ISO150

出氣接口:KF40

真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar)

抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時(shí)間少于40分鐘

復(fù)合真空計(jì)

測(cè)量范圍 105Pa~10-5Pa

膜厚監(jiān)測(cè)儀

測(cè)量精度

0.1?

測(cè)量速度

100ms-1s/

可設(shè)置測(cè)量范圍

500000?(鋁)

標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體

6MHz

適用晶體尺寸

Φ14mm (標(biāo)配10)

空壓機(jī)

作用于電控氣動(dòng)閥

水冷機(jī)

冷卻水溫度:≦37℃

流速:10L/min

功率:0.1KW

冷卻功率:50W/℃

水箱容量:9L

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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