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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:全自動勻膠機(jī)旋涂儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC8-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
全自動勻膠機(jī)旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設(shè)備,通過程序化控制基片旋轉(zhuǎn)速度、加速度和時(shí)間,實(shí)現(xiàn)液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質(zhì)量薄膜或涂層
詳情介紹:

     全自動勻膠機(jī)旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設(shè)備,通過程序化控制基片旋轉(zhuǎn)速度、加速度和時(shí)間,實(shí)現(xiàn)液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質(zhì)量薄膜或涂層。其核心設(shè)計(jì)結(jié)合了自動化控制、**防護(hù)及高精度傳感器技術(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及材料科學(xué)研究領(lǐng)域
.核心功能特點(diǎn)

?1.精密控制能力?

采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)和數(shù)字式增速反饋系統(tǒng),確保轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(100–10000 rpm)和加速/減速的精準(zhǔn)控制,保障薄膜厚度均一性。

支持多段程序化操作(如5段程序組、10個(gè)勻膠梯度階段),可自定義轉(zhuǎn)速、時(shí)間及加速度參數(shù),滿足復(fù)雜工藝需求。

?2.自動化與**性?

配備5寸全彩觸摸屏,支持智能編程和實(shí)時(shí)監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)一鍵操作和參數(shù)記錄。

集成電磁**開關(guān)、自鎖上蓋和雙重密封設(shè)計(jì),防止飛片事故和化學(xué)污染,確保操作人員**。

?3.多功能適配性?

真空吸附系統(tǒng)兼容多種基片尺寸(如2–8英寸),支持真空固定基片,避免涂覆偏移。

      可選配超聲波加熱或惰性氣體保護(hù)功能,適用于光刻膠預(yù)烘烤或敏感材料的涂覆工藝。

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域

?1.半導(dǎo)體制造?

用于光刻膠涂布、SU-8模具制備等工藝,保障晶圓表面涂層的均勻性和厚度一致性。

?微流控與MEMS技術(shù)?

PDMS芯片制作中均勻涂覆聚合物膠液,滿足微流控通道或傳感器結(jié)構(gòu)的精密需求。

?2. 光學(xué)與材料科學(xué)?

制備光學(xué)薄膜(如防反射涂層)、納米材料涂層,以及生物材料表面功能化處理。

?3. 科研與教育?

適用于高校和實(shí)驗(yàn)室的薄膜工藝研究,支持重復(fù)性實(shí)驗(yàn)和教學(xué)演示

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、專業(yè)級伺服電機(jī)驅(qū)動,高精度、高重復(fù)性

2、人性化設(shè)計(jì),ARM控制,安卓全彩觸屏操作

3、不銹鋼內(nèi)腔,陽極氧化處理面板,美觀、整潔

4、可連續(xù)、自動供膠,滿足工業(yè)用途

5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要

6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物

7、更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

全自動勻膠機(jī)

產(chǎn)品型號

CY-SPC8-SS

供電電壓

AC220V  50Hz

基片尺寸

6寸、8寸鋁合金真空載物盤

腔體材質(zhì)

不銹鋼

轉(zhuǎn)速

20-10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率

±1rpm

加速度可調(diào)范圍

20-10000rpm/s

單步時(shí)長

3000s

時(shí)間分辨率

1s

編程

可編程100100步程序

點(diǎn)膠端口

可擴(kuò)展帶四路自動點(diǎn)膠端口

點(diǎn)膠功能

可升級多路自動點(diǎn)膠功能

滴膠方式

自動

操作方式

液晶屏操作系統(tǒng)

產(chǎn)品尺寸

390*367*356

產(chǎn)品重量

35KG

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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