產(chǎn)品介紹：

      1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來(lái)控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

       系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以混合1-3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效，若客戶有特殊需要也可以聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。 

適用范圍：

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

真 空 管 式 爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-O1200-50IT
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長(zhǎng)度	800mm
	爐膛長(zhǎng)度	440mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	400mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測(cè)量部件	氣體質(zhì)量流量計(jì)
	測(cè)量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣		備注：如需其它量程或氣體種類(lèi)，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測(cè)量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門(mén)	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前極泵	旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)：電阻規(guī)+電離規(guī)
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz

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